该套测试系统对扩散泵的极限压力和不同入口压力下的抽速曲线的测试原理与方法,完全参照相关国家标准的规定执行。其中扩散泵抽速曲线的自动检测,采用“定压法”原理测试。对应每一个测压点的测试步骤是:在工作阀开启的条件下,利用针阀调节充入测试罩的气体流量Q,使测试罩内的平衡压力p稳定在预期的压力值附近;关闭工作阀,依次记录滴管内液柱到达液位高度h1和h2的时间t1和t2;通过计算液柱净升高度h=h2-h1和上升所需时间t=(t2-t1),利用下式求得对应压力下的体积流率,即抽速。
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